Überraschende biomedizinische Anwendung für ASMLs Chipherstellungs-EUV-Lithographiemaschinen – sie können Nanoporen für die molekulare Sensorik in Massenproduktion herstellen
https://www.tomshardware.com/tech-industry/semiconductors/surprising-biomedical-application-found-for-asmls-chipmaking-euv-lithography-machines-they-can-mass-produce-nanopores-for-molecular-sensing